TN-O1200-50IT-3Z-HV1200℃單溫區3路質量供氣高真空CVD系統由單溫區管式爐、三路質量流量計和高真空分子泵組構成。管式爐由精密控溫儀表進行PID控溫，可編輯30段升降溫程序，同時有過熱和斷偶保護功能。爐管兩側法蘭配有數字式真空計和機械式壓力表，可以用來控制路管內的氣氛環境。同時1200℃單溫區3路質量供氣高真空CVD系統管式爐采用高清真彩觸控屏操作，簡單易上手，即使是非專業人員經過簡單的培訓也可以熟練掌握儀器的使用方法，能夠極大的提高您的實驗效率，1200℃單溫區3路質量流量計高真空CVD系統所配有的三路質量流量計，精度高可靠性強，可以準確混合1~3路氣體，操作面板采用數字顯示，直觀高效。若客戶有特殊需要也可聯系技術人員定制任意數量的氣路。本系統還配有精密分子泵組，可以達到1.0E-3pa級別的真空度，較普通機械泵可以為用戶提供更純凈嚴苛的實驗環境。

應用范圍：高校、科研院所、工礦企業做高溫燒結、金屬退火、質量檢測等，尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環境的CVD實驗

名稱	1200℃單溫區3路質量供氣高真空CVD系統
型號	TN-O1200-50IT-3Z-HV
參數	1、供電電源：AC:220V 50/60Hz 2、爐管  材質：高純石英; 尺寸：直徑50mm（可選配60mm、80mm、100mm）、長度800mm（爐膛長度：440mm） 3、加熱區:長400mm;  恒溫區:長200mm 4、工作溫度:0～1100℃; 控溫精度:±1℃;  5、控溫模式:30段或50段程序控溫 6、顯示模式:LCD 7、密封方式 :304不銹鋼真空法蘭 ;法蘭接口:1/4英寸卡套接頭、KF16/25/40接頭 8、可抽真空：4.4E-3Pa 9、供氣系統：TN-3Z  3通道氣體通道      測量部件：氣體質量流量計      測量量程：A通道：0～100SCCM    H2氣                      B通道：0～300SCCM    N2氣                      C通道：0～500SCCM    Ar氣  備注：如需其它量程或氣體種類，定貨時需特別注明。根據客戶的具體要求來選配對應的氣體種類和量程的流量計。     測量精度：±1.0%F.S     管道耐壓：3MPa     工作壓差：50～300KPa     連接管道：304不銹鋼     控制閥門：304不銹鋼針閥     接口規格：進氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭     供電電源：AC:220V 50/60Hz 10、排氣系統：產品型號TN-GZK103-A      分子泵 TN-600     前極泵：旋片泵;         抽氣速率分子泵：600L/S   旋片泵：1.1L/S（  綜合抽氣性能：30分鐘真空度可達：1.0E-3Pa）       抽氣接口:KF40; 排氣接口:KF16      真空測量復合真空計：電阻規+電離規      極限真空:1.0E-5Pa      供電電源：AC220V 50/60Hz

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